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Mask AOI

Mask AOI

Mask AOI，用于檢測wafer mask的glass side/pellicle side表面particle，Class 1無塵等級，曝光前后瑕疵管控，可針對Particle大小進行分類。

Mask AOI
技術參數
  • 功能

    檢測wafer mask 的glass side/pellicle side表面particle

  • 產品尺寸

    6"wafer 光罩——玻璃:152×152mm；薄膜:149×113mm

  • 精度

    ＞1μm particle檢出

  • 檢測類型

    異物，指紋，酒精痕，絮狀物，油漬，劃傷，針孔等缺陷

  • 技術優勢

    Class 1無塵等級，曝光前后瑕疵管控，可針對Particle大小進行分類

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